所有常規原子力顯微鏡功能的條件下，基于的光誘導力顯微鏡（Photo-induced Force Microscope, PiFM)技術，結合波長可調的可見-紅外光源，從而實現10nm以下空間分辨可見~紅外成像與光譜采集，無需遠場光學接收器及光譜儀。
高精度表面形貌，電學、力學、磁學測試
微納米壓痕、劃痕摩擦磨損測試、高溫納米壓痕測試
臺階高度、表面輪廓、應力應變測試
電鏡原位AFM，亞納米形貌、力學、電學、磁學表征
探針臺、I-V，C-V，直流、射頻、微波測試
微納米壓痕、劃痕摩擦磨損測試，楊氏模量、硬度
