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          首頁  > 應用案例> 微納米光學
          
                 
          
                
          
            
          
    
          
        
          
            
          
                
          
                    
          微納米光學
          
                
          
            
          
            
            
          
                
          
                	                    
          
                        
                        
          MVI散射式掃描近場光學顯微鏡
          
                    
          
                                        
          
                        
                        
          NX10 高精度原子力顯微鏡
          
                    
          
                                        
          
                        
                        
          D500 高精度臺階儀
          
                    
          
                                        
          
                        
                        
          Profilm 3D光學輪廓儀
          
                    
          
                                        
          
                        
                        
          Zeta20 多模式三維光學輪廓儀
          
                    
          
                                    
          
                
                
                

            
          
            
          
            
          
                        
          
                
          
                    
          MVI散射式掃描近場光學顯微鏡:
          
                
          
                
          
                    
          AFM SNOM/Nano IR，基于AFM高精度場強表征
          
                
          
            
          
                        
          
                
          
                    
          NX10 高精度原子力顯微鏡:
          
                
          
                
          
                    
          亞納米形貌、電學、力學性質綜合表征
          
                
          
            
          
                        
          
                
          
                    
          D500 高精度臺階儀:
          
                
          
                
          
                    
          臺階高度測試、2D應力測試（可擴展3Dmapping型號）
          
                
          
            
          
                        
          
                
          
                    
          Profilm 3D光學輪廓儀:
          
                
          
                
          
                    
          器件輪廓測試、膜厚測試
          
                
          
            
          
                        
          
                
          
                    
          Zeta20 多模式三維光學輪廓儀:
          
                
          
                
          
                    
          器件寬粗糙度測試、表面輪廓形貌表征、應力應變測試
          
                
          
            
          
                
          
      		

   
    
    
    
    

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